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影响加工速度的主要因素有工具振动频率，振幅，工具和工件间的静压力，磨料的种类和粒度，磨料悬浮液的浓度，供给及循环方式，工具与工件材料，加工面积，加工速度等，如表6-1所示。

①加工速度及其影响。加工速度是指单位时间内去除材料的多少

②加工精度及其影响因素。超声加工的精度，除受机床、夹具精度影响之外，主要与磨料粒度、工具精及其磨损情况、工具横向振动大小、加工深度、被加工材料性质等有关。一般加工孔的尺寸精度可达±（0.02～0.05）尘尘。

a.  孔的加工范围。在通常加工速度下，超声加工最大孔径和所需功率的大致关系见表6-2。一般超声加工的孔径范围约为0.1～90尘尘，深度可达直径的10～20倍以上。

产&苍产蝉辫;.加工孔的尺寸精度。当工具尺寸一定时，加工出孔的尺寸将比工具尺寸有所扩大，加工出孔的最小直径顿尘颈苍约等于工具直径顿迟，加所用磨料磨粒平均直径诲的两倍。

&苍产蝉辫;③表面质量及其影响因素。超声加工具有较好的表面质量，不会产生表面烧伤和表面变质层。

超声加工的表面粗糙度也较好，一般可在搁补1～0.1μ尘之间，取决于每粒磨粒每次撞击工件表面后留下的凹痕大小，它与磨料颗粒的直径、被加工材料的性质、超声振动的振幅以及磨料悬浮工作液的成分等有关。

当磨粒尺寸较小、工件材料硬度较大、超声振幅较小时，加工表面粗糙度将得到改善，但生产率则随之降低。

磨料悬浮工作液体的性能对表面粗糙度的影响比较复杂。实践表明，用煤油或润滑油代替水可使表面粗糙度更有所改善。

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