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超声压光工艺是在传统的压光工艺基础上，给工具沿工件表面法线方向上施加超声振动，在一定的压力下，工具与工件表面振动接触，以一定的进给速度通过旋转着的工件表面，从而对工件表面进行机械冷作硬化，大大提高了加工表面的硬度和耐磨性，降低了表面粗糙度搁补值。

超声压光装置由换能器、变幅杆、工具、加压器、固定套筒等组成，如图7-9所示。超声波发生器产生的超声频电振荡信号，通过换能器转换为超声频纵向机械振动，变幅杆将换能器的纵向振动放大后传给工具。在超声压光中，工件的旋转运动为主运动，工具沿工件轴线方向做进给运动。调节加压器的弹簧长度可以改变工具与工件之间的静压力。

超声压光金属表面是一种冲击式的压力光整加工。它利用金属在常温状态下的冷塑性特点，采用专门的压光工具，对工件表层金属施加一定的压力，使其产生塑性流动。其结果是将工件表面原有的微观波峰熨平，使其填入波谷，从而使表面质量得到提高。

在图7-9中，给压光工具施加适当的预压力（静压力），使其压在工件上。超声压光时，工件回转（这里以压光外圆工艺为例），压光工具头除向工件压光表面进给之外，还由于超声振动的作用，高频冲击工件表面，这就使得超声压光具有了传统压光与喷丸强化的综合效果。